產(chǎn)品介紹：

名  稱：可編程精密勻膠機(jī)HC220PE

型  號：HC220PE

應(yīng)  用：HC220可編程旋涂儀/勻膠機(jī)，采用高精度工業(yè)伺服電機(jī)，配置8英寸人機(jī)界面，清晰的編程程序界面設(shè)置，易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所，實(shí)驗(yàn)室級的研究開發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品概述：

　　HC220可編程旋涂儀/勻膠機(jī)，采用高級PLC 模塊，工業(yè)級伺服電機(jī)，全自動程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
　　設(shè)備采用工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中最大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

性能參數(shù)：

l  旋涂程序：采用與track設(shè)備類似的程序與設(shè)計(jì)，最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒；

l  電機(jī)速度：0-10,000rpm；

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）；

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm；

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm；

l  重復(fù)性< 1rpm；

l  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step；

l  時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec；

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）；

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）；

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  用高級PLC模塊，工業(yè)級伺服電機(jī)；

l  8英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；

l HDPE高分子內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

l內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì)，有效防濺；

l可編程寫和存儲100組程序，每組100步；

l帶真空度安全互鎖檢測功能；

l帶蓋子安全互鎖檢測功能；

l帶排廢接口；

l具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；

l管路易疏通設(shè)計(jì)；

l具有真空不足提示及保護(hù)功能，具有斷電后參數(shù)自動保存功能；

l正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換；

l旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行；

l速度-時(shí)間曲線實(shí)時(shí)顯示；

l配置四個自動點(diǎn)膠接口，可升級多路自動點(diǎn)膠系統(tǒng)；

l可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

l配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；

          不同尺寸的載物盤

產(chǎn)品外型尺寸：
       444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)