可編程旋涂儀/勻膠機

產品介紹：

名  稱：可編程精密勻膠機HC220PE

型  號：HC220PE

應  用：HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高精度工業伺服電機，配置8英寸人機界面，清晰的編程程序界面設置，易學易用。適合半導體行業及科研院所，實驗室級的研究開發。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。

產品概述：

　　HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高級PLC 模塊，工業級伺服電機，全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
　　設備采用工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中最大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和可重復性。

性能參數：

l  旋涂程序：采用與track設備類似的程序與設計，最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒；

l  電機速度：0-10,000rpm；

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）；

l  馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm；

l  轉速調節精度<1rpm；

l  重復性< 1rpm；

l  工藝時間設定： 0-3,000 sec/step；

l  時間設置精度：0.1sec；

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）；

l  旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）；

產品特點：

l  用高級PLC模塊，工業級伺服電機；

l  8英寸彩色觸屏控制，人機界面；

l HDPE高分子內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

l內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

l可編程寫和存儲100組程序，每組100步；

l帶真空度安全互鎖檢測功能；

l帶蓋子安全互鎖檢測功能；

l帶排廢接口；

l具有電機進膠保護功能；

l管路易疏通設計；

l具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能；

l正、反轉旋涂方向可自由切換；

l旋涂參數可設置循環執行；

l速度-時間曲線實時顯示；

l配置四個自動點膠接口，可升級多路自動點膠系統；

l可設置用戶密碼保護功能；

l配置可調基座，方便調節水平；

          不同尺寸的載物盤

產品外型尺寸：
       444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)