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當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC150PE不銹鋼勻膠機150PE

不銹鋼勻膠機150PE

簡要描述:不銹鋼勻膠機HC150P:E可編程勻膠機,采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計,高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設(shè)計,美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。
  不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。

  • 產(chǎn)品型號:HC150PE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-03-14
  • 訪  問  量:1477

詳細(xì)介紹



產(chǎn)品介紹:



    稱:不銹鋼勻膠機HC150PE

    號:HC150PE

應(yīng)    用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

 

 

產(chǎn)品概述:



不銹鋼勻膠機HC150PE 可編程勻膠機,采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計,高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設(shè)計,美觀大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
  該勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,美觀耐腐蝕,經(jīng)久耐用。

 

性能參數(shù):



  • 適用晶元尺寸范圍:? 5~150mm

  • 旋涂速度:100~12000rpm

  • 轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

  • 旋涂加速度:100-30000rpm/s

  • 最大旋涂時間:3000s

  • 旋涂時間精度:0.1s

  • 內(nèi)腔直徑212mm,內(nèi)腔采用凹面防濺設(shè)計;

  • 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

  • 電源輸入:AC200-230

產(chǎn)品特點:



  • 設(shè)計緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用;

  • HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕;

  • 采用分體式結(jié)構(gòu),易清潔和移動;

  • 4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;

  • 精確設(shè)置實驗參數(shù),運行狀態(tài)實時顯示;

  • 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計,有效防濺;

  •  采用高級PLC程序控制,可編程,實現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;

  • 具有電機進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通設(shè)計;

  • 具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能。

  •  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;

  •  帶真空度安全互鎖檢測功能;

  • 帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng);

 

 


                             HDPE高分子耐腐蝕內(nèi)腔

              不同尺寸的載物盤

 

不銹鋼勻膠機HC150PE產(chǎn)品外型尺寸:
    310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)

 


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