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當前位置:首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC120SE4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)

4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)

簡要描述:4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)安賽斯TM可編程勻膠機采用高效、節省空間的設計;全彩觸屏操作;高級PLC控制;化學兼容性;高精度,高重復性。

  • 產品型號:HC120SE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-18
  • 訪  問  量:1815

詳細介紹

4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)


4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)

產品介紹:


稱:4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)

型號:HC120SE

應用: HC120SE小巧型可編程勻膠機,被設計為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~120mm或對應的方片,使用工業級直流馬達和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。


產品概述


4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)制膜的原理:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高質量薄膜涂層的制備。

4英寸可編程勻膠機(旋涂儀),被設計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~120mm或對應的方片,使用工業級直流馬達和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。該型號勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關領域。

??HC120SE小巧型勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用,程控操作,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出,具有優異的性價比。亦可提供分體式設計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。


產品特點:


●  設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用;

●  316不銹鋼材料旋涂內腔,耐腐蝕;采用分體式結構,易清潔和移動;

●  4.3英寸彩色觸屏控制,易學易用;可精確設置實驗參數,運行狀態實時顯示;

●  采用高級PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;

● 具有電機進膠保護功能;管路易疏通結構設計;

●  轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

● 可設置用戶密碼保護功能;


技術參數:


●  適用晶元尺寸范圍:直徑5~120mm

●  旋涂速度:100~12000rpm;轉速分辨率:1rpm

● 旋涂加速度:100-30000rpm/s

●  最大旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s

● 內腔直徑200mm,內腔采用獨特的凹面防濺設計;

●  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;

●  電源輸入:AC200-230V


4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)

4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)

4英寸可編程勻膠機(旋涂儀)



4英寸可編程勻膠機(旋涂儀),標準配置包含1臺無油真空泵和3只常規載物盤,更多產品信息,請聯系安賽斯工作人員


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