8英寸可編程勻膠機

產品介紹：

名稱：可編程勻膠機

型號：HC220SE

應用：HC220SE可編程勻膠機，是專業為8英寸及以下晶圓旋涂制膜設計（尺寸向下兼容）。采用高效、節省空間的設計；全彩觸屏操作；高級PLC控制；化學兼容性；高精度，高重復性。

產品概述：

勻膠機旋涂儀（spin coater）是一種用于制備高質量均勻薄膜的實驗室設備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉的襯底表面上，勻膠機高速旋轉產生離心力使膠液均勻分布在襯底表面，形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。

HC220SE勻膠機旋涂儀，采用高效、節省空間的設計；全彩觸摸屏操作；高級 PLC 控制； HDPE旋涂內腔，化學兼容性；伺服工業電機，高精度，高重復性，適合晶元尺寸范圍直徑5-220mm。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

產品特點：

     ● 設計緊湊，占地面積最小化；

     ● HDPE高分子材料旋涂內腔，耐腐蝕，具有化學兼容性；

     ● 全彩色8英寸觸摸屏，易學易用，方便操作；

     ●  高級PLC自動程序控制，可快速旋涂和多步編程旋涂，運行狀態實時顯示；

     ● 采用電機異位驅動結構，具有電機防進膠保護功能；

     ● 防進膠設計，管道易疏通設計。保護旋轉電機不進膠，意外進膠易于疏通；

     ● 旋轉速度、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作；

     ● 真空安全檢測互鎖，當真空度不足時，設備自動停止運行，防止飛片，確保安全。此功能

        可以在“設置"中關閉；

     ● 蓋子安全互鎖，當蓋子開啟時，設備自動停止運行，并彈出提示，確保安全。此功能可以

        在“設置"中關閉；

     ● 帶4路自動點膠接口，最多可升級4路自動點膠；

     ● 可設置用戶密碼保護功能；

技術參數：

● 適用晶元尺寸范圍：? 5~220mm（更大尺寸可定制）；

● 旋涂速度：0~10000rpm（更高速度可選）；

● 轉速分辨率：0.1rpm；

● 旋涂加速度：0-30000rpm/s；

● 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

● 內腔直徑258mm，內腔采用獨特的凹面防濺設計；

● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；

● 設備尺寸：445mmX300mmX300mm(長寬高)；

● 重量：20Kg；

● 功率要求：800W；

● HCV500無油真空泵，真空度-92KPa，抽氣速度90L/min；

● 電源輸入：AC200-230V

8英寸可編程勻膠機HC220SE，標準配置包含1臺無油真空泵和3只常規載物盤，更多產品信息，請聯系安賽斯工作人員