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安賽斯12寸可編程勻膠機

簡要描述:安賽斯12寸可編程勻膠機采用高效、節省空間的設計;全彩觸屏操作;高級 PLC 控制;化學兼容性;高精度,高重復性。 全彩色 7 英寸觸摸屏顯示屏

  • 產品型號:HC300SE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-18
  • 訪  問  量:961

詳細介紹

安賽斯12寸可編程勻膠機

安賽斯12寸可編程勻膠機


產品介紹:


名稱:安賽斯12寸可編程勻膠機

型號:HC300SE

應用:安賽斯12寸可編程勻膠機,是專業為12英寸及以上晶圓旋涂制膜設計(尺寸向下兼容)。采用高效、節省空間的設計;全彩觸屏操作;高級PLC控制;化學兼容性;高精度,高重復性。


產品概述:


安賽斯12寸可編程勻膠機spin coater)是一種用于制備高質量均勻薄膜的實驗室設備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉的襯底表面上,勻膠機高速旋轉產生離心力使膠液均勻分布在襯底表面,形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。

HC300SE勻膠機旋涂儀,采用高效、節省空間的設計;全彩觸摸屏操作;高級 PLC 控制; HDPE旋涂內腔,化學兼容性;伺服工業電機,高精度,高重復性,適合晶元尺寸范圍直徑5-直徑300mm。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。


產品特點:


設計緊湊,占地面積最小化;

HDPE高分子材料旋涂內腔,耐腐蝕,具有化學兼容性;

全彩色8英寸觸摸屏,易學易用,方便操作;

高級PLC自動程序控制,可快速旋涂和多步編程旋涂,運行狀態實時顯示;

采用電機異位驅動結構,具有電機防進膠保護功能;

防進膠設計,管道易疏通設計。保護旋轉電機不進膠,意外進膠易于疏通;

旋轉速度、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作;

真空安全檢測互鎖,當真空度不足時,設備自動停止運行,防止飛片,確保安全。此功能可以在“設置"中關閉;

蓋子安全互鎖,當蓋子開啟時,設備自動停止運行,并彈出提示,確保安全。此功能可以在“設置"中關閉;

真空度實時數顯,真空壓力可調節;

4路自動點膠接口,最多可升級4路自動點膠;

可設置用戶密碼保護功能;


技術參數:


適用晶元尺寸范圍:直徑5~300mm(更大尺寸可定制);

旋涂速度:0~6000rpm(更高速度可選);

轉速分辨率:0.1rpm

旋涂加速度:0-30000rpm/s

最大旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s

內腔直徑427mm,內腔采用獨特的凹面防濺設計;

具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序100步;

設備尺寸:515mmX515mmX350mm(長寬高)

重量:65Kg

功率要求:1550W

HCV2000無油真空泵,真空度-92KPa,抽氣速度200L/min

電源輸入:AC200-230V

安賽斯12寸可編程勻膠機


安賽斯12寸可編程勻膠機

安賽斯12寸可編程勻膠機


安賽斯12寸可編程勻膠機,標準配置包含1臺無油真空泵和1只定制載物盤,更多產品信息,請聯系工作人員。




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