程控精密勻膠機

簡要描述：HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性

產(chǎn)品型號：HC160PE
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-12-16
訪問量：5972

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半導體前處理

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詳細介紹

可編程精密勻膠機

型號：HC160PE

HC160PE程控精密勻膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點：

l 設計緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；

l 4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；

l 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；

l 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

l 內(nèi)腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；

l 高級PLC全自動程序控制，可編程；

l 帶真空度安全互鎖檢測功能；

l 帶蓋子安全互鎖檢測功能；

l 帶排廢接口；

l 配置一個自動點膠接口，可升級自動點膠系統(tǒng)；

l 可設置用戶密碼保護功能；

l 配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；

技術參數(shù)：

l 適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；

l 旋涂速度：100~12000rpm；

l 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l 旋涂時間：3000s；

l 旋涂時間精度：0.1s；

l 內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用*的凹面防濺設計；

l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

l 電源輸入：AC200-230V；

設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機

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